Etching of a-Si:H thin films by hydrogen plasma: A view from in situ spectroscopic ellipsometry

Aomar Hadjadj; Fadila Larbi; Mickaël Gilliot; Pere Roca I Cabarrocas

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Etching of a-Si:H thin films by hydrogen plasma: A view from in situ spectroscopic ellipsometry

Aomar Hadjadj ¹ Fadila Larbi Mickaël Gilliot ² Pere Roca I Cabarrocas ³

1 CORIA - Complexe de recherche interprofessionnel en aérothermochimie

2 APC - UMR 7164 - AstroParticule et Cosmologie

3 LPICM - Laboratoire de physique des interfaces et des couches minces [Palaiseau]

Aomar Hadjadj ¹ AuthorId : 1248649
Author

Fadila Larbi AuthorId : 1248650
Author

Mickaël Gilliot ² AuthorId : 1248651
Author

Pere Roca I Cabarrocas ³ AuthorId : 359709
Author

1 CORIA - Complexe de recherche interprofessionnel en aérothermochimie (Site Universitaire du Madrillet, BP 12, 76801 St Etienne du Rouvray Cedex - France) StructId : 962

CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR6614 (France) StructId : 441569
INSA Rouen Normandie - Institut national des sciences appliquées Rouen Normandie (Avenue de l’Université 76801 Saint-Étienne-du-Rouvray Cedex - France) StructId : 301288
- INSA - Institut National des Sciences Appliquées (France) StructId : 301232
- NU - Normandie Université (Esplanade de la Paix - CS 14032 - 14032 Caen Cedex 5 - France) StructId : 455934
UNIROUEN - Université de Rouen Normandie (1, rue Thomas Becket 76821 Mont-Saint-Aignan Cedex - France) StructId : 300318
- NU - Normandie Université (Esplanade de la Paix - CS 14032 - 14032 Caen Cedex 5 - France) StructId : 455934

2 APC - UMR 7164 - AstroParticule et Cosmologie (APC - UMR 7164, Université Paris Diderot, 10 rue Alice Domon et Léonie Duquet, case postale 7020, F-75205 Paris Cedex 13 - France) StructId : 1969

CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives : DRF/IRFU (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France) StructId : 300016
UPD7 - Université Paris Diderot - Paris 7 (5 rue Thomas-Mann - 75205 Paris cedex 13 - France) StructId : 300301
Observatoire de Paris (61 Av de l'Observatoire 75014 PARIS - France) StructId : 300055
- PSL - PSL Research University (France) StructId : 349745
CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7164 (France) StructId : 441569
IN2P3 - Institut National de Physique Nucléaire et de Physique des Particules du CNRS (France) StructId : 300046

3 LPICM - Laboratoire de physique des interfaces et des couches minces [Palaiseau] (bat. 408 Route de Saclay 91128 PALAISEAU CEDEX - France) StructId : 1165

CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7647 (France) StructId : 441569
X - École polytechnique (École polytechnique, 91128 Palaiseau Cedex - France) StructId : 300340

Document type :

Journal articles

Domain :

Physics [physics]

Complete list of metadatas

https://hal-polytechnique.archives-ouvertes.fr/hal-01230706
Contributor : Pere Roca I Cabarrocas <>
Submitted on : Wednesday, November 18, 2015 - 7:49:39 PM
Last modification on : Friday, May 10, 2019 - 1:54:12 PM

Identifiers

HAL Id : hal-01230706, version 1
DOI : 10.1063/1.4893558

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Citation

Aomar Hadjadj, Fadila Larbi, Mickaël Gilliot, Pere Roca I Cabarrocas. Etching of a-Si:H thin films by hydrogen plasma: A view from in situ spectroscopic ellipsometry. Journal of Chemical Physics, American Institute of Physics, 2014, 141 (8), ⟨10.1063/1.4893558⟩. ⟨hal-01230706⟩

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