Understanding the amorphous-to-microcrystalline silicon transition in SiF4/H2/Ar gas mixtures

Jean-Christophe Dornstetter 1 Bastien Bruneau 2 Pavel Bulkin Erik V. Johnson 3 Pere Roca I Cabarrocas 1
1 LPICM - Laboratoire de physique des interfaces et des couches minces [Palaiseau]
2 UE 1297 Unité Expérimentale de Physiologie Animale de l'Orfrasière
3 UL2 - Université Lumière - Lyon 2
Type de document :
Article dans une revue
Journal of Chemical Physics, American Institute of Physics, 2014, 140 (23), 〈10.1063/1.4883503〉
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https://hal-polytechnique.archives-ouvertes.fr/hal-01230708
Contributeur : Pere Roca I Cabarrocas <>
Soumis le : mercredi 18 novembre 2015 - 19:52:01
Dernière modification le : jeudi 7 février 2019 - 14:52:42

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Citation

Jean-Christophe Dornstetter, Bastien Bruneau, Pavel Bulkin, Erik V. Johnson, Pere Roca I Cabarrocas. Understanding the amorphous-to-microcrystalline silicon transition in SiF4/H2/Ar gas mixtures. Journal of Chemical Physics, American Institute of Physics, 2014, 140 (23), 〈10.1063/1.4883503〉. 〈hal-01230708〉

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