Understanding the amorphous-to-microcrystalline silicon transition in SiF4/H2/Ar gas mixtures

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Journal of Chemical Physics, American Institute of Physics, 2014, 140 (23), 〈10.1063/1.4883503〉
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Contributeur : Pere Roca I Cabarrocas <>
Soumis le : mercredi 18 novembre 2015 - 19:52:01
Dernière modification le : jeudi 11 janvier 2018 - 06:18:26

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Jean-Christophe Dornstetter, Bastien Bruneau, Pavel Bulkin, Erik V. Johnson, Pere Roca I Cabarrocas. Understanding the amorphous-to-microcrystalline silicon transition in SiF4/H2/Ar gas mixtures. Journal of Chemical Physics, American Institute of Physics, 2014, 140 (23), 〈10.1063/1.4883503〉. 〈hal-01230708〉

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